解決方案

大族激光多年來注重產(chǎn)品研發(fā)、科技創(chuàng)新投入與沉淀，緊隨高質(zhì)量發(fā)展的推進步伐，打破關(guān)鍵核心技術(shù)壁壘；并基于自身產(chǎn)品獨特優(yōu)勢，不斷豐富全場景解決方案，賦能全球多個市場千行百業(yè)終端應(yīng)用實例。

大族半導(dǎo)體激光開槽技術(shù)取得新突破

作者：大族激光發(fā)布時間：2025/01/21

3D封裝是在二維封裝基礎(chǔ)上向空間發(fā)展的高密度封裝技術(shù)，該技術(shù)通過芯片堆疊或封裝堆疊的方式實現(xiàn)器件功能的增加，不僅能顯著提高封裝密度，還能有效降低封裝成本。在3D封裝制程中，Hybrid bonding混合鍵合技術(shù)中D2W或D2D工藝是其核心制程之一，該制程對前道切割段的精度要求、質(zhì)量要求以及particle管控更為嚴苛。相較于傳統(tǒng)封裝晶圓切割制程中Laser Grooving + Blade Saw方案，Laser Grooving + Plasma Dicing的組合切割方案憑借其優(yōu)異的切割質(zhì)量及particle管控等獨特的優(yōu)勢，在3D封裝領(lǐng)域日益受到重視與青睞，展現(xiàn)出了非凡的潛力，為3D封裝技術(shù)的進一步發(fā)展奠定了堅實的基礎(chǔ)。

大族半導(dǎo)體憑借在激光微加工領(lǐng)域的深厚積淀與卓越洞見，自2018年起便在國內(nèi)率先進行Low-K開槽關(guān)鍵技術(shù)的研發(fā)并取得突破性成果。近期，我司隆重推出全新一代全自動晶圓激光開槽設(shè)備—GV-N3242系列。該設(shè)備在開槽質(zhì)量、開槽精度、潔凈度管控以及材料兼容性方面的大幅躍升，已圓滿通過客戶嚴苛的技術(shù)驗證，并完全具備量產(chǎn)能力，贏得了客戶的一致好評與廣泛認可。

全自動晶圓激光開槽設(shè)備

型號：GV-N3242

01應(yīng)用領(lǐng)域

用于先進封裝領(lǐng)域，在晶圓表層開槽，輔助Plasma etch切割制程。

02設(shè)備優(yōu)勢

? 超快激光器(紫皮/紫飛)+新型光路整形方案，進一步提升開槽品質(zhì)；超高精度機械/氣浮平臺，進一步提升開槽精度;

? 升級視覺方案，配備超高倍鏡頭(>20x)以及紅外相機(選配)，提升視覺識別精度，實現(xiàn)晶圓背面開槽方案;

? 整機壓差、對流以及涂膠清洗腔體設(shè)計升級，可滿足百級潔凈度要求，可支持裸晶圓/Frame全自動天車上下料兼容模式。

03主要參數(shù)

04開槽效果

大族半導(dǎo)體全自動晶圓激光開槽設(shè)備GV-N3242的成功推出，以高精度、高效率的特點，為半導(dǎo)體制造業(yè)提供了更為先進、可靠的解決方案，標志著我司在激光切割應(yīng)用領(lǐng)域的深度探索與創(chuàng)新又前進了堅實的一步。展望未來，大族半導(dǎo)體將持續(xù)在激光切割應(yīng)用領(lǐng)域深耕細作，為半導(dǎo)體制造業(yè)注入強勁動力，推動整個行業(yè)不斷向前邁進。

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解決方案

新能源行業(yè)已發(fā)展成為全球經(jīng)濟支柱產(chǎn)業(yè)，為更好地提供新能源產(chǎn)業(yè)鏈服務(wù)，向新能源行業(yè)縱深方向延伸，積極主動地融入新能源時代發(fā)展潮流

國家能源局新能源和可再生能源司新能源處處長邢翼騰：“在過去的一年里，中國的光伏行業(yè)立足于新發(fā)展階段，產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢持續(xù)增強，依舊保持

深圳市大族半導(dǎo)體裝備科技有限公司主要研究應(yīng)用于硅、碳化硅、砷化鎵、氮化鎵、陶瓷、藍寶石、玻璃、柔性薄膜和金屬等材料的加工工藝，

大族數(shù)控是全球PCB專用生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域工序解決方案布局最為廣泛的企業(yè)之一；覆蓋常規(guī)剛性多層板、高密度互聯(lián)板(HDI)、類載板(S

激光作為一種新型技術(shù)，具有精度高、速度快、不對基體造成損害等特點，在電子信息產(chǎn)品生產(chǎn)過程中，激光技術(shù)在產(chǎn)品的體積優(yōu)化以及品質(zhì)提

激光切割在機械五金行業(yè)的應(yīng)用方案非常廣泛，可以在不同的領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)不同的功能，提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量，降低生產(chǎn)成本，提高企業(yè)的競爭力。

激光焊接在家電廚衛(wèi)產(chǎn)品的焊接具有高的深寬比，焊縫寬度、熱影響區(qū)、變形小，焊接速度快；焊縫平整美觀、焊后無需處理或只需簡單處理工

激光切割工藝以及激光切割機設(shè)備正在被廣大板材加工企業(yè)所熟悉接受，并以其加工效率高、加工精度高、切割斷面質(zhì)量好、可進行三維切割加

從油墨到激光，從激光到互聯(lián)網(wǎng)+，經(jīng)過數(shù)十年的發(fā)展，激光打標技術(shù)已經(jīng)越來越趨于成熟。目前，大族激光的飛行打標技術(shù)處于全國領(lǐng)先水平

交通物流行業(yè)是現(xiàn)代化經(jīng)濟體系的重要組成部分，承擔著物品流通的重要任務(wù)。隨著科技的發(fā)展，激光技術(shù)逐漸被應(yīng)用于交通物流行業(yè)，為行業(yè)

針對紡織機械生產(chǎn)需求，激光切割機加工范圍可涵蓋0-25mm金屬板材加工，同時對于一些需要鉆孔的工件，在沒有形成批量生產(chǎn)的情況下

在汽車行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈中，激光技術(shù)應(yīng)用集中主要在中下游，目前新能源汽車市場還處在高速增長期.....

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從油墨到激光，從激光到互聯(lián)網(wǎng)+，經(jīng)過數(shù)十年的發(fā)展，激光打標技術(shù)已經(jīng)越來越趨于成熟。目前，大族激光的飛行打標技術(shù)處于全國領(lǐng)先水平

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針對紡織機械生產(chǎn)需求，激光切割機加工范圍可涵蓋0-25mm金屬板材加工，同時對于一些需要鉆孔的工件，在沒有形成批量生產(chǎn)的情況下

在汽車行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈中，激光技術(shù)應(yīng)用集中主要在中下游，目前新能源汽車市場還處在高速增長期.....

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激光焊接在家電廚衛(wèi)產(chǎn)品的焊接具有高的深寬比，焊縫寬度、熱影響區(qū)、變形小，焊接速度快；焊縫平整美觀、焊后無需處理或只需簡單處理工

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從油墨到激光，從激光到互聯(lián)網(wǎng)+，經(jīng)過數(shù)十年的發(fā)展，激光打標技術(shù)已經(jīng)越來越趨于成熟。目前，大族激光的飛行打標技術(shù)處于全國領(lǐng)先水平

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針對紡織機械生產(chǎn)需求，激光切割機加工范圍可涵蓋0-25mm金屬板材加工，同時對于一些需要鉆孔的工件，在沒有形成批量生產(chǎn)的情況下

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