客服熱線:
400-666-4000
[→] 立即咨詢
關(guān)閉 [x]
LT/LN晶圓激光改質(zhì)切割設(shè)備

LT/LN晶圓激光改質(zhì)切割設(shè)備

產(chǎn)品特點(diǎn) 1、針對(duì)LT/LN材料特性開(kāi)發(fā)出的光源系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)高精度的內(nèi)部改質(zhì)切割;
2、切割速度快,良好的崩邊控制能力,兼容正面或背面切割工藝;
3、作業(yè)無(wú)耗材,加工無(wú)材料損失;
4、全自動(dòng)作業(yè),兼容4、6英寸晶圓;
5、提供系統(tǒng)解決方案,配套裂片、擴(kuò)片設(shè)備;
6、SEMI標(biāo)準(zhǔn),支持SECS-GEM通信。

產(chǎn)品應(yīng)用

應(yīng)用于音頻及視頻濾波器,衛(wèi)星濾波器,移動(dòng)通信濾波器,無(wú)線遙控諧振器,等LT/LN襯底晶圓的改質(zhì)切割,終端產(chǎn)品服務(wù)于手機(jī)、對(duì)講機(jī)、衛(wèi)星通信、航空航天等高端通信領(lǐng)域。


產(chǎn)品參數(shù)

內(nèi)容

技術(shù)參數(shù)

晶圓襯底

LT/LN襯底

晶圓尺寸

4英寸、6英寸

晶圓厚度

50μm-500μm

切割速度

600mm/s-800mm/s

定位精度

重復(fù)定位精度:±1μ  定位精度:±1μm

傳輸系統(tǒng)

Load port, robot, aligner

長(zhǎng)x寬x高LxWxH

2070mm×1420mm×2238mm


[圖標(biāo)] 聯(lián)系我們
銷(xiāo)售服務(wù)熱線
銷(xiāo)售服務(wù)熱線:
400-666-4000
在線溝通
在線溝通:
立即咨詢
查看更多聯(lián)系、反饋方式
[↑]
打樣申請(qǐng)/技術(shù)支持
[x]
*
*
*
咨詢產(chǎn)品
驗(yàn)證碼
標(biāo)有 * 的字段為必填,收到后我們將在2個(gè)工作日與您聯(lián)系
申請(qǐng)打樣
[x]
*
*
*
*
*
標(biāo)有 * 的字段為必填
*
激光加工類(lèi)型(多選)
*
材料類(lèi)型(多選)
驗(yàn)證碼
標(biāo)有 * 的字段為必填,收到后我們將在2個(gè)工作日與您聯(lián)系