客服熱線:
400-666-4000
[→] 立即咨詢
關(guān)閉 [x]
Wafer級(jí)TGV設(shè)備

Wafer級(jí)TGV設(shè)備

產(chǎn)品特點(diǎn) 1、靈活的尺寸兼容性,300mm以下全尺寸兼容;
2、采用飛秒激光技術(shù),高效、高品質(zhì)加工;
3、自主研發(fā)的的加工和控制系統(tǒng);
4、配備高精度的晶圓自動(dòng)校正系統(tǒng);
5、全自動(dòng)無(wú)人值守;
6、 擁有多項(xiàng)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)及核心技術(shù)。

產(chǎn)品應(yīng)用

大族半導(dǎo)體研發(fā)的TGV玻璃通孔設(shè)備,是國(guó)內(nèi)研發(fā)最早,至今穩(wěn)定用于TGV量產(chǎn)的設(shè)備??梢詫?shí)現(xiàn)各種尺寸盲孔、異形孔、圓錐孔制備,在先進(jìn)封裝、顯示制造、消費(fèi)電子、生命科學(xué)等領(lǐng)域有巨大的應(yīng)用潛力。


產(chǎn)品參數(shù)

內(nèi)容

技術(shù)參數(shù)

設(shè)備最大加工尺寸

12寸

孔位置精度

3μm

運(yùn)行速度

≥800mm/s

孔真圓度(外孔、內(nèi)孔)

≥95% (長(zhǎng)軸/短軸)

孔壁質(zhì)量

≤100nm (與材料和刻蝕能力相關(guān))


[圖標(biāo)] 聯(lián)系我們
銷(xiāo)售服務(wù)熱線
銷(xiāo)售服務(wù)熱線:
400-666-4000
在線溝通
在線溝通:
立即咨詢
查看更多聯(lián)系、反饋方式
[↑]
打樣申請(qǐng)/技術(shù)支持
[x]
*
*
*
咨詢產(chǎn)品
驗(yàn)證碼
標(biāo)有 * 的字段為必填,收到后我們將在2個(gè)工作日與您聯(lián)系
申請(qǐng)打樣
[x]
*
*
*
*
*
標(biāo)有 * 的字段為必填
*
激光加工類型(多選)
*
材料類型(多選)
驗(yàn)證碼
標(biāo)有 * 的字段為必填,收到后我們將在2個(gè)工作日與您聯(lián)系